Éditeur : Lavoisier-Hermès
ISBN numérique PDF: 9782746289185
Parution : 2021
Catégorisation :
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Présentation des chimies et des séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu'aux gravures des plaquettes de silicium, de l'impact de leur niveau de pureté jusqu'aux procédés d'interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Sont exposées les nouvelles fonctionnalisations spécifiques.